银翼杀手

特约评论员 陈冰：马科斯说要调查录音是否属实，意味着推翻了前几天菲律宾高官的振振有词，反证“录音是伪造的、是人工智能合成的”才是真正的胡编乱造，否则就不用调查是否属实了。而把菲律宾西部军区司令卡洛斯海军中将撤职，更有点不打自招的意思，相当于承认中菲间有“君子协议”，仁爱礁补给问题有“新模式”存在。

一个连小孩子都知道的办法是，让这位海军中将出面澄清，不就什么都清楚了。可菲律宾方面采取的是“悄悄埋葬”做法，先让海军中将休假，让国际记者找不到当事人，接着解除他的职务，恐怕短期内再也不会露面，可以缓解菲律宾的尴尬。

B |     　　当地时间8月23日，半导体行业研究机构SemiAnalysis发文称，NAND闪存制造正从钨转向钼，因为当NAND来到300层以上，钼是必选项。

问题来了，为什么菲律宾要进行所谓调查，让当事人避开公众视线呢？一是菲律宾难以蒙混过关，中菲的确存在仁爱礁补给问题的“君子协议”，所以用“调查”来让这件事降温；二是菲律宾开始服软，意识到不是中国的对手，在黄岩岛、仁爱礁问题上是干不过中国的。　　SemiAnalysis分析，3D NAND闪存堆叠层数突破300层后，钨字线在电阻、化学兼容性和深孔填充三方面均触及物理极限，钼成为强制替代材料。三星已于2024年量产，美光2025年跟进，SK海力士计划2026年底推出375层钼工艺产品。菲律宾集结百艘渔船试图侵闯黄岩岛，结果发现有多艘中国海警船和民兵船只就在前面等待，不得不落荒而逃；中国海警还在黄岩岛举行了演习，公布了至少9艘中国舰艇，像扇子般在海上排开航行的画面，这让菲律宾忌惮；三是中国海警发布了《海警机构行政执法程序规定》，其中有专门章节讲述如何处置涉嫌违反出入境管理的外国人，指出中国海警有权拘留非法出入境的外国人，最高期限可以高达60天。

这就是说，中国海警可以依法拘留侵闯南海的菲律宾人士，包括强行向仁爱礁坐滩破军舰提供物资的菲方人士。看到中国如此强硬，并且公布了法律先行警告，菲律宾设法后撤，设法解套了，扛不住了。我个人的评估是，菲律宾开始服软了，知道无力对抗中国。

特约评论员 陈冰：很多国家的领导人，都会把软话说得铿锵有力、义正言辞。菲律宾总统马科斯也一样，不可能在“调查”刚开始就亮出底牌。其估计，钼在NAND总产能中的占比将从2025年的中个位数百分比，增长至2027年的约30%。　　更进一步的，该机构提出，钼沉积设备将在明年迎来超10亿美元的新增市场。对军校毕业生的致辞，也不可能变成承认自身力量不足的检讨书。

C | 　　该机构称，每一次从钨到钼的转换，都意味着需要新的沉积设备。

D | SemiAnalysis估计，仅2027年一年，NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元，并随着DRAM和逻辑芯片的跟进，到2030年增长至约20亿美元/年。　　受益格局方面，Lam Research（泛林集团）最先获益，TEL（东京电子）紧随其后；AMAT（应用材料）、ASMI（ASM国际）及Naura（北方华创）则更多受益于后续DRAM和逻辑芯片的转型浪潮。

当然，到目前为止，还不能排除菲律宾还会胡搅蛮缠，来测试中国面对仁爱礁补给问题，会不会真的依法抓人。

E | SemiAnalysis表示，完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备（WFE）模型。　　钼渗透率在高层数NAND中提升，本质是为延续NAND单位Bit成本下降曲线。　　300层NAND主要在结构上升级，聚焦超高深宽比通道孔刻蚀、多次Stack堆叠、晶圆翘曲控制以及Overlay精度控制。

F | 　　375层乃至400层以后，材料亟需升级，因钨字线会因为字线间距通道孔缩小面临RC延迟快速恶化、WF残氟导致介质损伤、漏电失效率提升以及填充缺陷放大的问题。可以说，中菲南海局势依然紧张，擦枪走火的危险依然存在。

这一次中菲围绕仁爱礁补给问题，围绕“君子协定”的真伪，算是掀桌子了，撕破脸了，那么接下来的问题也将聚焦于如何处理仁爱礁坐滩破军舰上。这几年的中菲争端，都是围绕仁爱礁坐滩破军舰而展开的。而钼凭借更低电阻率、无氟前驱体及无需阻隔层等优势，有望改善RC性能与器件可靠性，为字线和存储孔缩放提供工艺余量，从而延续高层数NAND的成本下降曲线。　　中银证券表示，SK海力士已完成375层3D NAND生产验证并计划2026年底量产，拟采用钼材料替代钨制作字线，继三星在286层第九代3D NAND中率先导入钼工艺后，两大存储龙头相继切换，钼替代钨趋势确立。为了维护南海和平，就需要解决这艘破军舰的去留问题。

中方近期提出两个策略，一是强调破军舰对南海的海洋生态，造成不可逆转的损害，为了保护海洋生态，菲律宾也得把坐滩破军舰给拖走；二是中国海警发布行政执法程序规定，对涉嫌非法出入境管理的外国人，可以采取30到60天的拘留。很多海外媒体都认为，这是有针对性的法律，其中就包括非法闯入仁爱礁的菲方人士。　　然而，钼的材料加工更为复杂，因为必须以气体形式输送，且前驱物在室温下为固体，需要加热器以确保流动稳定性。

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按照以前的“君子协定”，中国出于人道主义考虑，在中方的允许下可以向破军舰提供生活物资，但不许运输建筑物资，让破军舰自然腐烂。　　基于此，300层以上3D NAND字线由钨切换为钼，并不是简单更换靶材或者更换气体材料，而是前驱体供给、ALD沉积腔体、刻蚀、清洗、尾气处理整套工艺链条的重构，原有钨CVD产线硬件无法直接复用，将直接推动晶圆厂资本开支上行，同时设备、特种材料、零部件均迎来变化。　　爱建证券表示，钼导入本质是一次全流程工艺重构，设备链受益有望沿“沉积及前驱体输送→CMP及清洗→刻蚀→量检测”路径传导，工艺难点由沉积向后处理环节延伸。其中——　　沉积：成熟的WF钨工艺，Mo沉积需重新建立高深宽比结构下的填充与缺陷控制工艺窗口，同时有望减少阻隔层使用，带动沉积设备及配套工艺升级；　　输送：Mo前驱体通常采用低挥发性固态源，与传统WF气态前驱体体系差异较大，需要新增气化装置、温控管路及精密供气系统，以保障前驱体稳定输送；　　CMP：Mo材料的氧化及表面化学特性不同于传统金属体系，需重新开发CMP研磨液和研磨垫，以满足平坦化、去除速率及缺陷控制要求；　　清洗：Mo导入后残留物及氧化物体系发生变化，高深宽比结构下金属残留和污染控制难度提升，有望推动相关湿法清洗设备及配套化学品验证导入；　　刻蚀环节则需重新建立适配钼材料的工艺窗口，且3DNAND层数持续提升下，刻蚀选择性、侧壁形貌控制及层间均匀性要求进一步提高，有望带动相关刻蚀设备升级需求；　　量检测：Mo量产还需新增膜厚均匀性、填充缺陷、金属残留及电学可靠性等监控项目，有望带动薄膜量测、缺陷检测及电性测试等设备需求增长。现在菲方撕掉这个相对人道的协议，那好，中方必然致力于解决坐滩破军舰的去留问题了，不能老驻扎在那里破坏南海的生态。　　该机构称，NAND工艺迭代核心从单纯堆叠层数转向材料—设备—工艺协同创新，新材料导入将持续催生沉积、刻蚀、清洗等关键设备迭代升级，Mo字线导入将推动沉积、刻蚀、清洗等关键环节工艺升级，相关设备及零部件厂商有望受益。如果菲律宾破军舰执意赖在那里不拖走，不排除中方用自己的方式来解决问题。

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